| 孙广毅,赵新,卢桂章.面向微加工的虚拟光刻系统建模与实现[J].高技术通讯(中文),2009,19(1):76~81 |
| 面向微加工的虚拟光刻系统建模与实现 |
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| 修订日期：2008-05-20 |
| DOI： |
| 中文关键词: 微加工， 光刻， 虚拟工艺， 工艺模拟 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 作者 | 单位 | | 孙广毅 | 南开大学机器人与信息自动化研究所 | | 赵新 | 南开大学机器人与信息自动化研究所 | | 卢桂章 | 南开大学机器人与信息自动化研究所 |
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| 中文摘要: |
| 提出了一种面向微加工的虚拟光刻系统Litho3D。该系统采用傅立叶光学成像模型、光刻胶曝光及显影模型，实现了投影式光学光刻的三维模拟。它拥有标准的GDSII、CIF版图格式接口和支持各种光学参数(包括数值孔径、波长、离焦量，光刻胶厚度、表面折射率等)的模拟设置。模拟结果的显示采用了体绘制与网格相结合的方法，增强了结果的可视性。此外，光刻模拟结果可以直接导入到虚拟工艺系统ZProcess中作为刻蚀工艺的掩膜输入，实现了光刻工艺与其他微机电系统(MEMS)工艺模拟的无缝集成。一系列模拟结果验证了该系统的可行性。 |
| 英文摘要: |
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