| 陈海峰,曹宇,李祥友,蔡志祥,王小宝,王少飞,李金洪,曾晓雁,陈弘达.激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究[J].高技术通讯(中文),2011,21(2): |
| 激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究 |
| Research on fabrication of multi-electrode arrays by direct laser technology |
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| DOI： |
| 中文关键词: 微电极阵列(MEA);激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术;微笔直写技术 |
| 英文关键词: |
| 基金项目:863计划 |
| 陈海峰,曹宇,李祥友,蔡志祥,王小宝,王少飞,李金洪,曾晓雁,陈弘达 |
1. 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;华东医学生物技术研究所,南京,210002
2. 华中科技大学激光加工国家工程研究中心,武汉,430074
3. 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 |
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| 中文摘要: |
| 利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)--目前研究细胞电生理的常用工具之一,在电极阵列背面利用微笔直写技术直接"写"上加温和热敏电阻,完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件的集成制造.随后对电极阻抗和微加热器性能进行了测试,并在其上培养神经细胞.结果表明:激光直写导线宽度与加工电流、光阑直径、电子浆料、涂层厚度和衬底材料相关;电极和微加热器性能基本满足使用需求,但是电子浆料成分对细胞生物活性存在一些影响.今后将更换电子浆料材料,提高生物相容性. |
| 英文摘要: |
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