| 郑树琳,宋亦旭,孙晓民.离子刻蚀工艺表面演化仿真的三维元胞模型[J].高技术通讯(中文),2013,23(11):1206~1212 |
| 离子刻蚀工艺表面演化仿真的三维元胞模型 |
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| DOI： |
| 中文关键词: 离子刻蚀，三维元胞模型，边界时间最短优先移动法，滚轮搜索法 |
| 英文关键词: |
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| 作者 | 单位 | | 郑树琳 | 清华大学计算机科学与技术系，智能技术与系统国家重点实验室 | | 宋亦旭 | 清华大学计算机科学与技术系，智能技术与系统国家重点实验室 | | 孙晓民 | 清华大学计算机科学与技术系，智能技术与系统国家重点实验室 |
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| 中文摘要: |
| 为了更好地理解和认识刻蚀机理，并为制造工艺提供优化指导，采用三维元胞模型研究了离子刻蚀工艺的表面演化过程。针对三维元胞模型内存使用量大，采用了静态数组和动态双向链表相结合的方式进行信息存储；提出了边界时间最短优先移动法，改进了刻蚀离子入射轨迹计算量大的问题；通过一种降维分量拟合方法实现了刻蚀离子入射角度的快速求解，并重点对用于拟合计算的表面元胞的选取方法进行了改进，提出了滚轮搜索法，提高了拟合的准确度。将该模型应用到硅刻蚀工艺三维仿真中，其模拟结果与相关实验结果对比，验证了该模型对刻蚀工艺描述的有效性。 |
| 英文摘要: |
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